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Spare part

유에스티 Spare part 장점
해외 수입으로 인한 납기지연 없음(유에스티에서 직접 생산), 삼성전자등 국내 대기업, 장비제조사 및 다수의 해외 업체 납품중으로 제품 성능에 대한 검증완료, 현재 상용화된 제품이 아니더라도 각 특성에 맞는 제품 개발 가능, 사용중인 제품의 국산화및 다변화로 원가 절감 실현

Equipment Refurbish

보유시설
Clean room및 Air shower
Vacuum system(Dry pump,이동식 Oil pump)
Cooling system(PCW,DI)
Gas supply system(Air,N2,He,CF4,O2등)
장비용 전원 system(3Φ 208V+N)
He leak detector

Equipment parts Modify

Shutter Modify(300mm SEMES)
기존 SHUTTER의 CYLINDER SHAFT조립부를 2PIECE 형태로 가공. 분리된 SHAFT부와 SHUTTER부를 잔공 처리된 SCREW로 연결하여 앞뒤로 움직 일수 있게 제작. 특수 SCREW와 WASHER를 사용하여 잔공처리 된 SCREW가 풀리지 않도록 함. 기존 SHUTTER는 3~4회 재생 시 두께문제로 사용을 못했으나 개조된 SHUTTER의 경우 거의 반영구적으로 사용이 가능함.


Spare part

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Reliance Robot

Part no : 017-0266-01
Maker : Brooks Automation

Magna7 ROBOT

Part no : 003-1600-32
Maker : Brooks Automation

Magna7 ROBOT

Part no : 003-1600-32
Maker : Brooks Automation

Aqutran ROBOT

Part no : 002-7090-04
Maker : Brooks Automation